快科技6月8日新闻，，，，，，，针对外界称台积电因守旧不肯投资下一代光刻装备的传言，，，，，，，台积电董事长魏哲家克日在股东大会上亲自辟谣，，，，，，，体现有买High-NA EUV光刻机，，，，，，，且正起劲研发，，，，，，，但基于本钱考量，，，，，，，现阶段暂不投入量产。。。。
台积电的战略是先用能手里现有的EUV装备。。。。魏哲家强调，，，，，，，现有光刻机搭配多重图案化手艺，，，，，，，仍足以支持先进制程的微缩需求，，，，，，，台积电有底气等High-NA EUV的经济账算得更划算时再脱手。。。。
台积电早在2024年9月就吸收了首台High-NA EUV光刻机，，，，，，，并安顿在研发中心用于开发下一代工艺的基础光刻手艺。。。。魏哲家以为，，，，，，，提前启动研发准备，，，，，，，才华确保未来投产时抵达可靠良率与产出效率。。。。
不过他坦言，，，，，，，要把这台4亿美元的装备真正用起来，，，，，，，还需再等等。。。。英特尔等竞争者早已将High-NA EUV提上量产日程，，，，，，，而台积电选择先研发、后投产更稳妥的蹊径，，，，，，，切合其一直的本钱纪律。。。。
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